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经营范围
发明名称
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10214791(A)
申请公布日期
1998.08.11
申请号
JP19970014302
申请日期
1997.01.28
申请人
SONY CORP
发明人
NIMATA HIROYUKI
分类号
H01L21/8234;H01L21/265;H01L21/266;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/823
主分类号
H01L21/8234
代理机构
代理人
主权项
地址
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