发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10214791(A) 申请公布日期 1998.08.11
申请号 JP19970014302 申请日期 1997.01.28
申请人 SONY CORP 发明人 NIMATA HIROYUKI
分类号 H01L21/8234;H01L21/265;H01L21/266;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/823 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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