| 发明名称 |
METHOD FOR USING CHLORINE TRIFLUORIDE IN CLEANING SURFACE OF THIN FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10212582(A) |
申请公布日期 |
1998.08.11 |
| 申请号 |
JP19970217316 |
申请日期 |
1997.08.12 |
| 申请人 |
CENTRAL GLASS CO LTD |
发明人 |
ARAMAKI MINORU;NAKANO HISAHARU;SUENAGA TAKASHI;YANAGII KIYOSHI;ARAI HIROMICHI |
| 分类号 |
C11D7/22;C09K13/08;C23C14/00;C23C16/44;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C11D7/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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