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发明名称
METHOD FOR FORMING WIRING OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10209155(A)
申请公布日期
1998.08.07
申请号
JP19970008709
申请日期
1997.01.21
申请人
SONY CORP
发明人
INOUE HAJIME
分类号
H01L21/28;H01L21/265;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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