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发明名称
METHOD OF GROWING COMPOUND SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号
JPH10209047(A)
申请公布日期
1998.08.07
申请号
JP19970006453
申请日期
1997.01.17
申请人
SONY CORP
发明人
TAMAMURA KOJI
分类号
H01L21/205;H01L21/203;H01L21/363;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/203;H01S3/18
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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