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发明名称 EXPOSURE PATTERN PROJECTION DEVICE AND ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH10209019(A) 申请公布日期 1998.08.07
申请号 JP19970012280 申请日期 1997.01.27
申请人 SONY CORP 发明人 KOIKE KAORU
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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