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发明名称
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申请公布号 JP2782640(B2) 申请公布日期 1998.08.06
申请号 JP19910009414 申请日期 1991.01.30
申请人 FUJI DENKI KK 发明人 MURAKAMI YUKIO
分类号 H01L21/60;H01L21/321;H01L23/48;H01L25/07;H01L25/18;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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