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发明名称 Phase shift mask for formation of contact holes having micro dimension
摘要
申请公布号 GB2295694(B) 申请公布日期 1998.08.05
申请号 GB19950024589 申请日期 1995.12.01
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 CHANG NAM * AHN;HUNG EIL * KIM
分类号 H01L21/027;G03F1/00;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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