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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10204632(A) 申请公布日期 1998.08.04
申请号 JP19970017383 申请日期 1997.01.14
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKAHASHI MASASHI
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C14/34;H01L21/306 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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