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发明名称
CHAMBER STRUCTURE OF BATCH TYPE ASHER
摘要
申请公布号
KR0121217(Y1)
申请公布日期
1998.08.01
申请号
KR19920000372U
申请日期
1992.01.14
申请人
LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD
发明人
SONG, BYUNG-SUNG
分类号
H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/310
主分类号
H01L21/3105
代理机构
代理人
主权项
地址
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