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发明名称 DETECTING APPARATUS OF MISLOADING TUBE FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR0120490(Y1) 申请公布日期 1998.08.01
申请号 KR19940035258U 申请日期 1994.12.23
申请人 ANAM INDUSTRIAL CO.,LTD 发明人 LEE, KYU-HO;CHOE, WON-HO
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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