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经营范围
发明名称
ORGANOMETALLIC MOLECULAR BEAM EPITAXY EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH10199810(A)
申请公布日期
1998.07.31
申请号
JP19970001857
申请日期
1997.01.09
申请人
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>
发明人
OGASAWARA MATSUYUKI;SUGIURA HIDEO;MITSUHARA MANABU
分类号
H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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