发明名称 VACUUM PART, AND VACUUM LEAKING AMOUNT REDUCING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10196788(A) 申请公布日期 1998.07.31
申请号 JP19970000719 申请日期 1997.01.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 IDOTA TAKESHI;NIWA MASAAKI;ONISHI TERUTO;HARADA YOSHIHISA
分类号 F16J15/08;B01J3/03;C23C14/24;F16J12/00;(IPC1-7):F16J12/00 主分类号 F16J15/08
代理机构 代理人
主权项
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