| 发明名称 |
DIRECT HEATING HEATER WITH LIQUID LEAKAGE SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10199666(A) |
申请公布日期 |
1998.07.31 |
| 申请号 |
JP19970017844 |
申请日期 |
1997.01.16 |
| 申请人 |
NITTETSU SEMICONDUCTOR KK |
发明人 |
SATO YOSHINORI;OGAWA HARUHISA |
| 分类号 |
H05B3/00;H01L21/304;H05B3/78;(IPC1-7):H05B3/78 |
主分类号 |
H05B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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