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经营范围
发明名称
Sub-micron imaging
摘要
申请公布号
EP0505101(B1)
申请公布日期
1998.07.29
申请号
EP19920302159
申请日期
1992.03.13
申请人
AT&T CORP.
发明人
WHITE, DONALD LAWRENCE
分类号
G02B6/00;G02B6/13;G03F1/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/14
主分类号
G02B6/00
代理机构
代理人
主权项
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