| 发明名称 |
LOW TEMPERATURE REFINING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR GAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10192630(A) |
申请公布日期 |
1998.07.28 |
| 申请号 |
JP19970003171 |
申请日期 |
1997.01.10 |
| 申请人 |
IWATANI INTERNATL CORP;IWATANI GAS KK |
发明人 |
DATE MASANOBU;KAWAGUCHI ETSUJI;TOGIYA SHOICHIRO |
| 分类号 |
B01D46/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):B01D46/00 |
主分类号 |
B01D46/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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