| 发明名称 |
METHOD FOR PLACING CELL AUTOMATICALLY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10189750(A) |
申请公布日期 |
1998.07.21 |
| 申请号 |
JP19970288890 |
申请日期 |
1997.10.21 |
| 申请人 |
TOSHIBA MICROELECTRON CORP;TOSHIBA CORP |
发明人 |
TSUKIHOSHI YOSHINORI |
| 分类号 |
H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/82 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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