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发明名称 CLEANING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH10189523(A) 申请公布日期 1998.07.21
申请号 JP19960341501 申请日期 1996.12.20
申请人 SONY CORP 发明人 OKAMOTO AKIRA
分类号 B08B3/04;B08B3/08;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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