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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer dreidimensionalen Schaltungsanordnung
摘要
申请公布号 DE59406156(D1) 申请公布日期 1998.07.16
申请号 DE19945006156 申请日期 1994.01.24
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 HUBNER, HOLGER, DR, D-85598 BALDHAM, DE
分类号 H01L21/98;H01L23/48;H01L25/065;(IPC1-7):H01L21/98 主分类号 H01L21/98
代理机构 代理人
主权项
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