发明名称 Deformable mirror device and manufacturing method thereof
摘要
申请公布号 EP0813089(A3) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 EP19970303985 申请日期 1997.06.09
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, BUM-KYOO;KIM, YONG-KWEON;SHIN, JONG-WOO
分类号 G02F1/015;G02B26/08;(IPC1-7):G02B26/08;G09F9/37 主分类号 G02F1/015
代理机构 代理人
主权项
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