| 发明名称 |
RELATING TO RADIO FREQUENCY SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3558467(A) |
申请公布日期 |
1971.01.26 |
| 申请号 |
USD3558467 |
申请日期 |
1968.06.21 |
| 申请人 |
EDWARDS HIGH VACUUM INTERNATIONAL LTD. |
发明人 |
GEOFFREY NORMAN JACKSON |
| 分类号 |
C23C14/28;C23C14/35;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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