반도체 리드 프레임 제조용 노광장치

摘要

반도체 리드 프레임 제조용 노광장치가 개시된다. 개시된 반도체 리드 프레임 제조용 노광장치는 노광용 마스크로 소재가 투입되는 인입부에 진로울러와 같은 클리닝수단기 구비된 점에 그 특징이 있는 것으로서, 이러한 특징에 의하면 소재의 표면에 부착된 먼지 등의 이물질이 노광용 마스크로 소재가 투입되기 이전에 진로울러에 의해 제거됨으로써 이물질에 의한 불량발생을 방지할 수 있다.