发明名称 MECHOD OF FORMING SILICIDE
摘要
申请公布号 KR0140639(B1) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 KR19940026110 申请日期 1994.10.12
申请人 LG SEMICON CO.,LTD 发明人 PARK, JONG-OUK;CHON, SUNG-SOON;KIM, DONG-WON;LEE, WON-JUN
分类号 H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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