发明名称 具有选择性作用的穿透面的气滤及制造此穿透面的方法
摘要 本发明涉及一种气滤(1),它具有选择性作用的由石英、石英玻璃、派热克斯玻璃等制成的穿透面;为了制成比较薄而又能施加比较大的压差的穿透面,建议此选择性作用的穿透面由许多并列的窗口(5)构成。
申请公布号 CN1187781A 申请公布日期 1998.07.15
申请号 CN96194699.7 申请日期 1996.06.01
申请人 莱博尔德真空技术有限责任公司 发明人 维尔纳·格罗瑟·布莱;托马斯·伯姆;乌尔里希·德布勒;曼弗雷德·拉谢;托马斯·策特尔
分类号 B01D69/00;G01M3/20 主分类号 B01D69/00
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 孙征
主权项 1.气滤(1),它具有选择性作用的由石英、石英玻璃、派热克斯玻璃等制的穿透面,其特征为:选择性作用的穿透面由多个并列的窗口(5)构成。
地址 联邦德国科隆