| 发明名称 |
X-RAY ANALYSIS DEVICE AND X-RAY IRRADIATION ANGLE SETTING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10185846(A) |
申请公布日期 |
1998.07.14 |
| 申请号 |
JP19970117228 |
申请日期 |
1997.05.07 |
| 申请人 |
TECHNOS KENKYUSHO:KK |
发明人 |
TERADA SHINICHI;MASAKI MOTOHISA |
| 分类号 |
G01N23/207;G01N23/221;G01N23/223;G21K1/06;H01L21/66;(IPC1-7):G01N23/223 |
主分类号 |
G01N23/207 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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