发明名称 |
FILM FORMING APPARATUS FOR MAGNETO-RESISTIVE HEAD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10183347(A) |
申请公布日期 |
1998.07.14 |
申请号 |
JP19960346218 |
申请日期 |
1996.12.25 |
申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
HOSHINO AKIRA;UCHIYAMA TOYOJI;TAKAGI KENICHI |
分类号 |
C23C14/35;C23C14/56;H01F10/08;H01F10/32;H01F41/18;H01F41/32;(IPC1-7):C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/35 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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