发明名称 FILM FORMING APPARATUS FOR MAGNETO-RESISTIVE HEAD
摘要
申请公布号 JPH10183347(A) 申请公布日期 1998.07.14
申请号 JP19960346218 申请日期 1996.12.25
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 HOSHINO AKIRA;UCHIYAMA TOYOJI;TAKAGI KENICHI
分类号 C23C14/35;C23C14/56;H01F10/08;H01F10/32;H01F41/18;H01F41/32;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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