一种开关量或频率输出的新型敏感元件的结构和制造方法

摘要

一种具有开关量或频率脉冲输出性能的新型敏感元件属于具有数字量输出性能的传感器领域。它克服了传统敏感元件只能输出低幅值模拟信号、应用电路复杂等不足,为新一代数字量输出传感器的研制创造了条件。本发明基于半导体特殊的负阻效应研制出的半导体敏感元件,体积小、功耗低,动态响应快,由它构成的传感器输出幅值大,电路简单而规范,既可输出模拟信号又可输出数字信号,可广泛应用于多种物理参数的监控与检测领域。

主权项

1、一种具有开关量或频率脉冲输出性能的新型敏感元件，其结构由N型区、P型区、上电极和下电极四层结构构成，其特征是：N型区(1)由掺磷的N型高阻硅单晶作为衬底，P区(2)以铝和硼作掺杂源经扩散而形成，并从N型区扩散金或铂，且扩透整个P型区(2)，上电极(3)和下电极(4)可采用镍、铝、金或其它金属用以形成欧姆接触。