发明名称 Photoresist-Zubereitungen
摘要
申请公布号 DE3620677(C2) 申请公布日期 1998.07.02
申请号 DE19863620677 申请日期 1986.06.20
申请人 MICROSI, INC. (N.D.GES.D.STAATES DELAWARE), PHOENIX, ARIZ., US 发明人 CRIVELLO, JAMES VINCENT, CLIFTON PARK, N.Y., US
分类号 G03C1/00;C08F12/22;C08L25/00;C08L25/18;G03F7/038;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/004;C07C43/215;C08F112/08 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
主权项
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