形成圆盘基片的金属模压装置

摘要

用于成型圆盘基片的金属模压装置包括一固定金属模具，一面对着固定金属模具安装的、能移向和移离固定金属模具的，在它和固定金属模具间限定一模具空腔的可动金属模具，一至少装在固定金属模具或可动金属模具之一上的，设置在模具空腔内的压模，一位于装有压模的金属模具上的，用于使压模的承载位置定位的定位装置，以及一位于装有压模的金属模具上以用抽吸支承压模的压模支承装置。压模靠定位装置定位并在压模抽吸装置的抽吸作用下被夹持住，所以它可以装在固定金属模具或可动金属模具上的一位置上，高精确地成型圆盘基片。

主权项

1.一种成形基片的金属模压装置，包括一固定金属模具，一安装在面对着固定金属模具的可动金属模具，以便朝向和离开固定金属模具移动可动金属模具，在可动金属模具和固定模具之间限定了一模具空腔，至少装在固定金属模具或可动金属模具之一上的，布置到模具空腔内的压模，在装有压模的金属模具上的定位装置，以设置压模的承载装置，以及，在装有压模的金属模具上的压模装置，用于在抽吸作用下支承压模，其特征在于所述定位装置由一浇道套支承夹持器支承，所述浇道套支承夹持器与所述固定金属模具之间形成一环形空气通道，所述环形气道通过在所述固定金属模具中形成的空气导管与真空源相连通，所述环形空气通道、空气导管及真空源构成所述压模的支承装置。