| 发明名称 |
Automatic polishing apparatus for polishing a substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9809104(D0) |
申请公布日期 |
1998.07.01 |
| 申请号 |
GB19980009104 |
申请日期 |
1998.04.28 |
| 申请人 |
NEC CORPORATION;OKAMOTO MACHINE TOOL WORKS LTD. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/304;B24B27/00;B24B41/00;B24B53/007 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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