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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10177955(A) 申请公布日期 1998.06.30
申请号 JP19980004238 申请日期 1998.01.12
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 OKA HIDEAKI
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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