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发明名称 HIGH PURITY DIELECTRIC THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH10177816(A) 申请公布日期 1998.06.30
申请号 JP19960339525 申请日期 1996.12.19
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 MATSUURA MASAYA;KAGEYAMA KENSUKE;ATSUGI TSUTOMU;OGI KATSUMI
分类号 C01G35/00;H01B3/12;(IPC1-7):H01B3/12 主分类号 C01G35/00
代理机构 代理人
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