发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10178102(A) 申请公布日期 1998.06.30
申请号 JP19960338131 申请日期 1996.12.18
申请人 SONY CORP 发明人 SHINOHARA MAMORU
分类号 H01L27/06;H01L21/8234;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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