发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10177956(A) 申请公布日期 1998.06.30
申请号 JP19960339675 申请日期 1996.12.19
申请人 HITACHI LTD;KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKADA MASAMI;SHIMADA TOMOHARU;INOUE HIRONORI;SUZUKI TAKAYA;ANDO TOSHIO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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