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发明名称
METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10177956(A)
申请公布日期
1998.06.30
申请号
JP19960339675
申请日期
1996.12.19
申请人
HITACHI LTD;KOKUSAI ELECTRIC CO LTD
发明人
NAKADA MASAMI;SHIMADA TOMOHARU;INOUE HIRONORI;SUZUKI TAKAYA;ANDO TOSHIO
分类号
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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