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发明名称 LASER ANNEALING METHOD FOR SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH10172910(A) 申请公布日期 1998.06.26
申请号 JP19960333175 申请日期 1996.12.13
申请人 SHARP CORP 发明人 MITANI YASUHIRO
分类号 H01L21/20;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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