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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR TESTING SOLID STATE IMAGING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10173014(A) 申请公布日期 1998.06.26
申请号 JP19960335254 申请日期 1996.12.16
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OKITA TSUTOMU
分类号 G01R1/073;H01L21/66;H01L27/14;H04N5/335;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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