发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10172969(A) 申请公布日期 1998.06.26
申请号 JP19960326932 申请日期 1996.12.06
申请人 NEC CORP 发明人 TSUCHIYA YASUAKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/304;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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