发明名称 PRODUCT WITH A PARTIALLY STABILIZED ZIRCONIUM OXIDE SUBSTRATE AND A FULLY STABILIZED ZIRCONIUM BUFFER LAYER AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
摘要 Die Erfindung betrifft ein Erzeugnis mit einem Substrat (2) aus einem teilstabilisierten Zirkonoxid und einer Pufferschicht (4) aus einem vollstabilisierten Zirkonoxid. Dabei ist das Substrat (2) untexturiert und die Pufferschicht (4) biaxial texturiert sowie über eine Zwischenschicht (3) aus einem von Zirkonoxid verschiedenen, mit diesem kompatiblen Werkstoff mit dem Substrat (2) verbunden. Dieses Erzeugnis wird insbesondere hergestellt unter ionenstrahlunterstütztem Abscheiden der Pufferschicht (4). Es eignet sich insbesondere als Träger für eine Funktionsschicht (1) aus einem keramischen Supraleiter, z.B. zur Verwendung als supraleitender Strombegrenzer.
申请公布号 WO9827599(A1) 申请公布日期 1998.06.25
申请号 WO1997DE02925 申请日期 1997.12.16
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;NEUMUELLER, HEINZ-WERNER;SCHMIDT, WOLFGANG;HEINEMANN, KLAUS;WIESMANN, JOERG;HOFFMANN, JOERG;DZICK, JUERGEN;FREYHARDT, HERBERT-CARL 发明人 NEUMUELLER, HEINZ-WERNER;SCHMIDT, WOLFGANG;HEINEMANN, KLAUS;WIESMANN, JOERG;HOFFMANN, JOERG;DZICK, JUERGEN;FREYHARDT, HERBERT-CARL
分类号 C30B29/22;H01L39/16;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C30B29/22
代理机构 代理人
主权项
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