| 摘要 |
<p>본 고안은 클리닝 진공 필터에 관한 것으로서 실시예에 따른 필터의 구조는 배관의 굴곡 부위에 형성되어 원통형으로 형성되어 있으며 상부가 개봉된 필터 본체, 본체 중간에 상부와 하부를 가로막는 필터, 본체 상부의 측면에 형성되어 클리인 룸과 연결되는 인렛 배관과 2차 정압계, 본체 하부의 측면에 형성되어 펌프와 연결되는 1차 정압계와 아웃렛 배관, 아웃렛 배관에 형성되어 있는 메인 벨브 및 역시 본체하부의 측면에 형성되어 있는 드레인 벨브, 그리고 본체 상부를 덮는 뚜껑으로 구성되어 있다.</p> |
