发明名称 Method for forming concurrent top oxides using reoxidized silicon
摘要
申请公布号 EP0697716(A3) 申请公布日期 1998.06.24
申请号 EP19950111165 申请日期 1995.07.17
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 NGUYEN, BICH-YEN;AJURIA, SERGIO A.;PAULSON, WAYNE;DAHM, JON
分类号 H01L21/316;H01L21/28;H01L21/318;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/823;H01L21/320 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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