发明名称 改进的微型机械装置的弹性元件
摘要 一个用于微型机械装置(12)的改进的弹性元件(24)。该微型机械装置(12)包括一个静止元件(28)和一个运动元件(26),由一个弹性元件(24)所连结。由于运动元件(26)的反复和频繁的运动,弹性元件(24)会变得永久地弯曲和变形,从而导致装置的不良作业。渗氮的铝或非铝合金能用来形成一个多晶的或非晶的金属膜,该弹性元件(24)由该金属膜形成。这些合金具有各向同性的弹性、高的拉伸强度并在溅镀时形成一个平的膜。
申请公布号 CN1185487A 申请公布日期 1998.06.24
申请号 CN96122723.0 申请日期 1996.09.01
申请人 德克萨斯仪器股份有限公司 发明人 J·H·特雷吉尔盖斯;T·W·奥伦特;吉原秀一;R·L·奈普
分类号 C22C45/08;C23C14/14;C23C14/34;F16H21/00 主分类号 C22C45/08
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 张政权
主权项 1.一种改进的用于微型机械装置的弹性元件,它在该装置的一个部件运动时弯曲,其中的改进包括:该元件由一种或多种导电的非晶合金所构成。
地址 美国德克萨斯州