| 发明名称 |
HOLLOW CATHODE FOR GENERATING PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10168563(A) |
申请公布日期 |
1998.06.23 |
| 申请号 |
JP19960352673 |
申请日期 |
1996.12.12 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
HAKOMORI MUNEHITO;HIBINO YUKINOBU;MATSUZAKI KANENORI;KURAUCHI TOSHIHARU;MATSUURA MASAMICHI |
| 分类号 |
C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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