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发明名称
PRODUCTION OF IONIZATION PVD DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10168565(A)
申请公布日期
1998.06.23
申请号
JP19960333698
申请日期
1996.12.13
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NAKAO SHUJI
分类号
C23C14/34;C23C14/35;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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