发明名称 PRODUCTION OF IONIZATION PVD DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10168565(A) 申请公布日期 1998.06.23
申请号 JP19960333698 申请日期 1996.12.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAO SHUJI
分类号 C23C14/34;C23C14/35;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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