| 发明名称 |
METHOD FOR CUTTING INGOT AND APPARATUS USED FOR THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10167899(A) |
申请公布日期 |
1998.06.23 |
| 申请号 |
JP19960336790 |
申请日期 |
1996.12.17 |
| 申请人 |
DAIDO HOXAN INC |
发明人 |
YOKOYAMA TAKASHI;YAMAMOTO KAZUMA |
| 分类号 |
C30B33/12;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C30B33/12;H01L21/306 |
主分类号 |
C30B33/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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