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发明名称 SPUTTERING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH10168566(A) 申请公布日期 1998.06.23
申请号 JP19960333575 申请日期 1996.12.13
申请人 SONY CORP 发明人 SHIMODA KAZUTO;NADA NAOJI
分类号 C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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