| 发明名称 |
METHOD FOR EVALUATING ETCHING PROPERTY OF MATERIAL FOR SHADOW MASK, AND MATERIAL FOR SHADOW MASK FREE FROM GENERATION OF UNEVENNESS IN STRIPE AFTER ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10168546(A) |
申请公布日期 |
1998.06.23 |
| 申请号 |
JP19960329294 |
申请日期 |
1996.12.10 |
| 申请人 |
NISSHIN STEEL CO LTD |
发明人 |
TAKEMOTO TOSHIHIKO;FUJII TAKAHIRO;ISHII KATSUMI;IWAMOTO HISAO |
| 分类号 |
G01N33/00;C22C38/00;C22C38/08;C23F1/00;H01J9/14;H01J29/07;H01J31/20;(IPC1-7):C22C38/00 |
主分类号 |
G01N33/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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