| 主权项 |
一种由致动器驱动的三自由度超精密微定位机构,其中三自由度为二直行(X与Y方向)移动及一旋转(Z方向)运动,此其特征是利用三层的叠层机构来达成XYZ三方向的运动,最底层为固定座作为三方向运动的基准,中间层为XY平台总成,主要是用来达成XY方向的运动,最上层为Z平台总成,除了固接于XY平台总成之上,也会随着XY平台总成,做XY方向的运动外,Z平台总成还必须达成Z方向的转动,其主要的致动方式是利用致动器推动放大梁经由杠杆作用产生位移放大的效果,在经由放大梁推动运动平台,以平板弹簧做为平台的支撑及导引构件,并且在XYZ三方向接上感测器,以达成位移量测及回馈控制的功能。图示简单说明:第一图系为本创作固定底座之构造示意图第二图系为本创作XY平台总成之构造示意图第三图系为本创作Z平台总成之构造示意图 |
