| 发明名称 |
VAPOR DEPOSITION DEVICE, ORGANIC VAPORIZATION SOURCE AND PRODUCTION OF ORGANIC THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10158820(A) |
申请公布日期 |
1998.06.16 |
| 申请号 |
JP19960342649 |
申请日期 |
1996.12.06 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
NAGASHIMA NAOKI;TAKAHASHI NATSUKI;NEGISHI TOSHIO |
| 分类号 |
C23C14/12;(IPC1-7):C23C14/12 |
主分类号 |
C23C14/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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