| 摘要 |
<p>본 고안은 내부에 웨이퍼보오트가 있고, 일측 하단에는 공정가스공급부가, 타측 하단에는 공정가스배기부가 설치된 외부튜브몸체와, 웨이퍼보오트와 외부튜브몸체 사이에 설치되어, 상, 하부가 개구된 내부튜브를 포함하여 이루어져 공정가스가 내부튜브 하부로 공급되어 상부로 통하면서 웨이퍼 상에 막을 증착시키는 화학기상증착장치에 있어서, 내부튜브는 높이가 다른 다수개의 원통막으로 형성되어 공정가스가 상기 원통막 사이사이로 통과되고, 웨이퍼보오트에서 멀어질수록 높게 설치되는 화학기상증착장치에 관한 것이다.</p> |
