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发明名称 THERMAL PROCESSING APPARATUS AND PROCESS
摘要
申请公布号 EP0813747(A4) 申请公布日期 1998.06.03
申请号 EP19960906598 申请日期 1996.03.04
申请人 SILICON VALLEY GROUP, INC. 发明人 PORTER, COLE, D.;SANCHEZ, JESSIE, R.;KOWALSKI, JEFFREY, M.
分类号 H01L21/683;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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