| 发明名称 |
METHOD FOR POLISHING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10150010(A) |
申请公布日期 |
1998.06.02 |
| 申请号 |
JP19960306160 |
申请日期 |
1996.11.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KOJIMA HIROYUKI;SATO HIDEMI;OKAWA TETSUO;URUSHIBARA MARIKO |
| 分类号 |
B24B1/00;B23H5/00;B24B37/04;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B24B1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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